本发明涉及大尺寸旋转靶材制造领域，公开了金属靶背管表面金属靶材的沉积装置、方法和金属靶。金属靶背管表面金属靶材的沉积装置，包括：第一电磁感应线圈、第二电磁感应线圈以及金属粉喷射装置；第一电磁感应线圈和第二电磁感应线圈在同一方向上间隔且同轴设置，金属粉喷射装置的喷头位于第一电磁感应线圈和第二电磁感应线圈之间的间隔处，且金属粉喷射装置的喷头朝向第一电磁感应线圈的轴线。在靶材背管表面沉积金属靶材的方法，采用前述的装置在靶材背管表面沉积大厚度高致密金属靶材。金属靶，通过在靶材背管表面采用前述方法沉积大厚度高致密金属沉积层得到。通过上述方案制得的金属靶材，厚度不受限，组织致密，溅射性能好，不开裂。