本申请提供一种分析六氟化硫气体回收再利用成效的方法及装置，所述方法包括：根据六氟化硫气体的物理指标数据进行压力误差预判分析，得到压力误差预判信号；基于所述压力误差预判信号的类型，根据所述物理指标数据或根据所述物理指标数据与损耗指标数据进行气体回收定量分析，得到所述六氟化硫气体的回收率结果值；根据所述六氟化硫气体的气体质量数据进行纯度抽检分析，得到抽检合格率；对所述回收率结果值及所述抽检合格率进行统计分析，得到六氟化硫气体回收再利用成效的综合分析结果。本申请能够对六氟化硫气体回收再利用的成效进行分析。