- 专利标题: 还原炉底盘表面银层的制备方法、还原炉底盘及还原炉
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申请号: CN202210330782.X申请日: 2022-03-30
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公开(公告)号: CN114686870B公开(公告)日: 2023-05-26
- 发明人: 谢迎春 , 张科杰 , 黄仁忠 , 曾良 , 邓春明
- 申请人: 广东省科学院新材料研究所
- 申请人地址: 广东省广州市天河区长兴路363号
- 专利权人: 广东省科学院新材料研究所
- 当前专利权人: 广东省科学院新材料研究所
- 当前专利权人地址: 广东省广州市天河区长兴路363号
- 代理机构: 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理商 覃蛟
- 主分类号: C23C24/04
- IPC分类号: C23C24/04 ; C23G5/00 ; B08B7/00 ; C01B33/03
摘要:
本发明公开了还原炉底盘表面银层的制备方法、还原炉底盘及还原炉,涉及多晶硅装备制造技术领域。本发明所提供的制备方法先利用激光加热系统对底盘表面进行加热,然后利用拉法尔喷嘴对加热后的底盘表面喷射超音速的银颗粒,以使加热软化后的底盘表面和银粉颗粒同时经历强塑性变形,接触银/钢结合面积增大,同时伴随大量元素扩散进而形成强力结合;利用激光清洗的方法对涂层表面的氧化银进行去除,以避免对银层服役性能的负面影响。采用上述制备方法对底盘表面进行银涂层的制备,能够制造一层具有高界面结合强度的致密银涂层,可在350℃以上长期服役。
公开/授权文献
- CN114686870A 还原炉底盘表面银层的制备方法、还原炉底盘及还原炉 公开/授权日:2022-07-01
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