发明公开
- 专利标题: 微纳传感芯片、电场测量系统及方法
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申请号: CN202210356938.1申请日: 2022-04-06
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公开(公告)号: CN114720776A公开(公告)日: 2022-07-08
- 发明人: 王科 , 张贵鹏 , 石俊 , 徐肖伟 , 杨庆 , 阳浩 , 秦忠 , 项恩新 , 彭晶 , 邵力 , 柳明贤 , 李荣秦
- 申请人: 云南电网有限责任公司电力科学研究院
- 申请人地址: 云南省昆明市经济技术开发区云大西路105号
- 专利权人: 云南电网有限责任公司电力科学研究院
- 当前专利权人: 云南电网有限责任公司电力科学研究院
- 当前专利权人地址: 云南省昆明市经济技术开发区云大西路105号
- 代理机构: 深圳中细软知识产权代理有限公司
- 代理商 袁文英
- 主分类号: G01R29/00
- IPC分类号: G01R29/00 ; G01D5/353 ; B81B7/00
摘要:
本发明实施例公开了一种微纳传感芯片、电场测量系统及方法,该微纳传感芯片自下而上包括:硅衬底、覆盖在硅衬底上的氟化镁下包层、覆盖在氟化镁下包层的单模微纳光纤环形结以及覆盖在单模微纳光纤环形结上的极化电光聚合物薄膜;其中,极化电光聚合物薄膜的有效折射率随外施电场的作用而发生线性变化,致使微纳传感芯片的输出光的谐振波长产生相应的漂移量,通过谐振波长与漂移量的对应关系,实现对待测电场的测量。本发明属于光电式传感,系统结构简单易集成,采用无源非接触式电场测量方法,与被测线路无直接电气连接,绝缘强度高,检修难度低,利用光子传输避免了周围磁场对测量结果的影响,抗干扰能力更强。