本发明涉及一种气溶胶产生装置及其制造方法，气溶胶产生装置包括微波谐振器以及收容座；微波谐振器包括外导体单元以及设置于该外导体单元中的内导体单元，内导体单元一端连接于外导体单元的封闭端、一端朝外导体单元的开口端延伸；收容座连接于开口端上，并包括用于收容气溶胶生成基质的收容部，收容部设置于谐振腔中；内导体单元包括导体柱以及探针装置，导体柱包括朝收容部延伸的自由端，探针装置包括至少一个延伸至收容部侧部的探针；探针装置设置在收容部上，并与导体柱的自由端欧姆接触。该发明中，探针装置设置在收容座上，并与导体柱相互独立，制作方便；探针延伸至收容部侧部，使微波场的均匀性得到显著提高。