发明公开
- 专利标题: 一种氧化锌—一氧化铅复合抗菌薄膜制备方法
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申请号: CN202210512460.7申请日: 2022-05-12
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公开(公告)号: CN114752907A公开(公告)日: 2022-07-15
- 发明人: 王志博 , 苏晓欣 , 宋忠孝 , 骆瑜 , 张冉
- 申请人: 王志博
- 申请人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 专利权人: 王志博
- 当前专利权人: 王志博
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/08 ; C23C14/58 ; C23C18/12 ; C23C28/04
摘要:
本发明公开了一种ZnO/PdO复合表面抗菌薄膜及其制备方法,发射膜包括PdO膜层,PdO膜层上设置有ZnO籽晶层,ZnO籽晶层上生长有方向能够调控的ZnO纳米线层,ZnO纳米线层经过电形成过程能够产生具有许多发射尖端的纳米裂缝,使纳米裂缝处的电场增强。制备方法包括以下步骤:1)通过射频反应磁控溅射法在经过抛光处理的Si基片上沉积PdO膜层;2)通过射频反应磁控溅射法在沉积有PdO膜层的Si基片上沉积ZnO籽晶层;3)通过低温水浴法在ZnO籽晶层上按照电子发射方向生长ZnO纳米线。本发明能够有效提高抗菌效率,提升器件的抗菌质量及寿命,降低成本。
IPC分类: