一种氧化锌—一氧化铅复合抗菌薄膜制备方法
摘要:
本发明公开了一种ZnO/PdO复合表面抗菌薄膜及其制备方法,发射膜包括PdO膜层,PdO膜层上设置有ZnO籽晶层,ZnO籽晶层上生长有方向能够调控的ZnO纳米线层,ZnO纳米线层经过电形成过程能够产生具有许多发射尖端的纳米裂缝,使纳米裂缝处的电场增强。制备方法包括以下步骤:1)通过射频反应磁控溅射法在经过抛光处理的Si基片上沉积PdO膜层;2)通过射频反应磁控溅射法在沉积有PdO膜层的Si基片上沉积ZnO籽晶层;3)通过低温水浴法在ZnO籽晶层上按照电子发射方向生长ZnO纳米线。本发明能够有效提高抗菌效率,提升器件的抗菌质量及寿命,降低成本。
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