发明授权
- 专利标题: 一种单晶硅尺寸测量机
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申请号: CN202210670862.X申请日: 2022-06-15
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公开(公告)号: CN114754714B公开(公告)日: 2022-09-02
- 发明人: 杜亮 , 柴赟 , 华哲
- 申请人: 常州莫森智能科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城创研港4号楼206
- 专利权人: 常州莫森智能科技有限公司
- 当前专利权人: 常州莫森智能科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城创研港4号楼206
- 代理机构: 常州市科谊专利代理事务所
- 代理商 孙彬
- 主分类号: G01B21/00
- IPC分类号: G01B21/00
摘要:
本发明公开了一种单晶硅尺寸测量机,包括底座支架,所述底座支架的上方固定安装有护板,所述护板的一侧设置有检测组件,所述检测组件的外侧设置有检测护板,所述检测护板与护板通过螺栓固定连接,所述检测组件包括至少四个安装板,四个所述安装板上设置有两个处理器,所述处理器的一端安装有距离传感器,所述距离传感器与处理器电连接,所述处理器电连接有处理终端,所述底座支架的上方固定安装有导轨支架,所述导轨支架的上端固定安装有导轨,所述导轨的两侧滑动连接有防水板,所述导轨的上侧滑动连接有工装板,所述工装板与防水板为固定连接,本发明,具有实用性强和具有综合检测功能的特点。
公开/授权文献
- CN114754714A 一种单晶硅尺寸测量机 公开/授权日:2022-07-15