一种单晶硅尺寸测量机
摘要:
本发明公开了一种单晶硅尺寸测量机,包括底座支架,所述底座支架的上方固定安装有护板,所述护板的一侧设置有检测组件,所述检测组件的外侧设置有检测护板,所述检测护板与护板通过螺栓固定连接,所述检测组件包括至少四个安装板,四个所述安装板上设置有两个处理器,所述处理器的一端安装有距离传感器,所述距离传感器与处理器电连接,所述处理器电连接有处理终端,所述底座支架的上方固定安装有导轨支架,所述导轨支架的上端固定安装有导轨,所述导轨的两侧滑动连接有防水板,所述导轨的上侧滑动连接有工装板,所述工装板与防水板为固定连接,本发明,具有实用性强和具有综合检测功能的特点。
公开/授权文献
0/0