一种压接结构的碳化硅器件及其制造方法
摘要:
一种压接结构的碳化硅器件及其制造方法,包括管座、过渡片、碳化硅芯片、连桥、绝缘块、缓冲片和管帽,管帽安装于管座上部;管座包括依次连接的下压块、封接环、陶瓷环、散热环、座法兰;管座内部安装绝缘块;缓冲片固定于管帽和绝缘块之间;散热环内侧通过过渡片安装碳化硅芯片,碳化硅芯片安装连桥,连桥连接下压块。通过散热环多边形结构布局实现多个碳化硅芯片均流并联,通过散热环、连桥、上压块、下压块、缓冲片组成散热结构实现三维立体冷却,提高了器件通流能力;将碳化硅芯片通过纳米银低温烧结工艺实现互连,与现有硅基器件对比,碳化硅器件能工作在更高频率、更高温度下,可满足200℃~300℃的工作环境要求。
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