石英封泡、石英容器、石英管封口系统及石英管封口方法
摘要:
提供一种石英封泡、石英容器、石英管封口系统及石英管封口方法。石英封泡包括圆筒部和轴端部,圆筒部用于与石英管的内周面粘接以密封,石英封泡还包括中空石英棒,中空石英棒连接于轴端部,中空石英棒具有内腔,内腔用于连接于抽气系统,内腔还用于连接于氢气供给源。石英容器包括石英管和用于置于石英管内的前述的石英封泡。石英管封口系统用于对前述的石英容器中的石英管和石英封泡进行密封、抽气和通氢气,包括密封法兰、抽气系统、氢氧焰喷枪、氢气供给源以及施压装置。石英管封口方法采用前述的石英管封口系统对前述的石英容器中的石英管和石英封泡进行密封。由此,能实现石英封泡与石英管的密封和氢气封入在石英管内。
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