- 专利标题： 一种电解铜箔电沉积过程的在线监测方法及装置
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申请号： CN202210659116.0申请日： 2022-06-10
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公开(公告)号： CN114855228B公开(公告)日： 2023-06-06
- 发明人: 陈小平 , 高中琦 , 李建新
- 申请人： 江西省科学院能源研究所
- 申请人地址： 江西省南昌市昌东大道7777号
- 专利权人： 江西省科学院能源研究所
- 当前专利权人： 江西省科学院能源研究所
- 当前专利权人地址： 江西省南昌市昌东大道7777号
- 代理机构： 北京天盾知识产权代理有限公司
- 代理商 姜有保
- 主分类号： C25D1/04
- IPC分类号： C25D1/04 ; C25D21/12
摘要：
本发明公开了一种电解铜箔电沉积过程的在线监测方法及装置，包括向电解铜箔电沉积过程中的电解液发射超声波，获取超声波反射的时域信号，基于时域信号的变化初步监测电解铜箔生长过程，当H段波谱内的对应峰强逐渐变大，则判定电解铜箔逐渐变厚；该方法通过超声波法监测电解铜箔电沉积过程，同时获得电解铜箔电沉积过程中电解液内部环境变化等信息，为电解铜箔制备工艺优化、性能调控及相关机理研究提供一种简单、实用的表征研究手段。
公开/授权文献
- CN114855228A 一种电解铜箔电沉积过程的在线监测方法及装置 公开/授权日：2022-08-05
