发明公开
- 专利标题： 柔性压阻式压力传感器及其制备方法
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申请号： CN202210497699.1申请日： 2022-05-09
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公开(公告)号： CN114878035A公开(公告)日： 2022-08-09
- 发明人: 邓维礼 , 王生龙 , 杨维清 , 田果 , 杨涛 , 熊达 , 张洪瑞 , 兰浡玲 , 邓林 , 孙悦 , 曾王鸿 , 敖勇 , 张睫灵
- 申请人： 西南交通大学
- 申请人地址： 四川省成都市二环路北一段
- 专利权人： 西南交通大学
- 当前专利权人： 西南交通大学
- 当前专利权人地址： 四川省成都市二环路北一段
- 代理机构： 北京正华智诚专利代理事务所
- 代理商 王玲玲
- 主分类号： G01L1/18
- IPC分类号： G01L1/18 ; G01L9/06
摘要：
本发明公开了一种柔性压阻式压力传感器及其制备方法，该压力传感器包括叉指电极，以及位于叉指电极上的压阻复合膜，压阻复合膜与叉指电极的接触面上均匀分布有微金字塔；其中，压阻复合膜中包含碳纳米管，微金字塔中沉积有碳纳米管。本发明带有微金字塔结构的压阻复合膜在外力作用下，微金字塔发生变形引起压力传感器内部导电通路的变化，最终引起电阻急剧变化，从而提高压阻传感器的灵敏度以及提高其监测的传感范围。
公开/授权文献
- CN114878035B 柔性压阻式压力传感器及其制备方法 公开/授权日：2023-05-09
