一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置及洗烘方法，利用旋转的螺旋叶片及拨片将靶材卷入料筒内腔，依次经过去污区、洗涤区和烘干区；移动过程中，由转动的螺旋叶片联动靶材周向转动和水平移动，与螺旋叶片的表面及料筒的底壁摩擦，于去污区内加强清洁、去污的效果，于清洗区2内加强清洗效果，于烘干区内进一步去除水渍被烘干后遗留的水渍。本发明的洗烘装置及洗烘方法，其结构简单，体积小，使用方便，节能节水，洗烘效果好，具有很强的实用性和广泛的适用性。