发明授权
- 专利标题： 一种碳化硅晶片兆声清洗工艺
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申请号： CN202210387173.8申请日： 2022-04-13
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公开(公告)号： CN114887987B公开(公告)日： 2023-05-02
- 发明人: 贺贤汉 , 张城 , 陈有生 , 赖章田
- 申请人： 上海申和投资有限公司
- 申请人地址： 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路181号
- 专利权人： 上海申和投资有限公司
- 当前专利权人： 上海申和投资有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路181号
- 代理机构： 铜陵市天成专利事务所
- 代理商 李坤
- 主分类号： B08B3/12
- IPC分类号： B08B3/12 ; B08B13/00
摘要：
本发明涉及一种碳化硅晶片兆声清洗工艺，先将待清洗的碳化硅晶片置于旋转式兆声波清洗设备，并利用清洗液进行间歇式兆声清洗；对经过兆声清洗后的碳化硅晶片使用纯水进行清洗、烘干、封装并储存。本发明对碳化硅晶片在频率为2000KHz的兆声清洗下，只需清洗7.7min即可清洗干净，清洗效率高(现有兆声清洗最少20min)，清洗效果好，能够最大限度降低对碳化硅晶片表面的损伤，应用价值高，实施效果好。
公开/授权文献
- CN114887987A 一种碳化硅晶片兆声清洗工艺 公开/授权日：2022-08-12
IPC分类:
