本发明涉及等离子体源技术领域，提供了一种离子速度矢量可控的高密度等离子体源，将工质气体通过流量控制器的分配后经过管路进入MPDA模块中进行初步电离，获得的低密度等离子体通过进入端进入陶瓷放电腔；在磁镜阵列磁场的约束下，陶瓷放电腔内种子电子不断电离低密度等离子体；对高密度高能量等离子体的离子速度方向和大小的调节；高密度高能量等离子体突破磁镜阵列的约束，向陶瓷放电腔的等离子体引出端汇聚，将高密度高能量等离子体在等离子体引出端的磁喷管加速喷出。本发明的方案实现了产生等离子体能量高、电离率高、可控性强的目的。