等离子体诊断方法和系统
摘要:
本申请涉及一种等离子体诊断方法和系统。所述方法包括:确定电弧发生装置和激光器之间的触发延时;触发所述电弧发生装置产生等离子体,并经过所述触发延时后,触发所述激光器产生激光,使得所述等离子体和所述激光作用产生汤姆逊散射光;获取所述汤姆逊散射光的汤姆逊散射光谱;对所述汤姆逊散射光谱进行分析,获得与所述触发延时相对应的等离子体参数。采用本方法能够提高等离子体参数的测量准确率。
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