一种用于动态环境监控芯片制备的硅棒提拉装置
摘要:
本发明涉及硅棒制备设备技术领域,且公开了一种用于动态环境监控芯片制备的硅棒提拉装置,包括联动套筒,联动套筒的内壁设有呈环形阵列排布的第一限位槽和定位槽孔,且第一限位槽和定位槽孔之间依次交错布置,同时,定位槽孔位于联动套筒内壁的中部,联动套筒的内壁活动连接有外部呈球型结构的牵引构件。该用于动态环境监控芯片制备的硅棒提拉装置,对于联动套筒、牵引构件、定位块以及调节套筒的设置,使得该提拉装置在沿着平面移动该硅棒时,在联动套筒上第一限位槽以及牵引构件上限位滑杆的作用下使其之间在移动的瞬间或者转弯的过程中发生相应的弯折动作,进而有效缓解该硅棒在平面移动时因惯性对其所造成的冲击影响。
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