发明授权
- 专利标题: 一种用于动态环境监控芯片制备的硅棒提拉装置
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申请号: CN202210338509.1申请日: 2022-04-01
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公开(公告)号: CN114921845B公开(公告)日: 2024-02-20
- 发明人: 宋伟 , 朱梓萍
- 申请人: 江苏邦翰信息科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省徐州市高新技术产业开发区大学路99号高新区大学创业园B611房间
- 专利权人: 江苏邦翰信息科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏邦翰信息科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省徐州市高新技术产业开发区大学路99号高新区大学创业园B611房间
- 代理机构: 北京淮海知识产权代理事务所
- 代理商 华德明
- 主分类号: C30B15/20
- IPC分类号: C30B15/20 ; C30B15/30 ; C30B29/06
摘要:
本发明涉及硅棒制备设备技术领域,且公开了一种用于动态环境监控芯片制备的硅棒提拉装置,包括联动套筒,联动套筒的内壁设有呈环形阵列排布的第一限位槽和定位槽孔,且第一限位槽和定位槽孔之间依次交错布置,同时,定位槽孔位于联动套筒内壁的中部,联动套筒的内壁活动连接有外部呈球型结构的牵引构件。该用于动态环境监控芯片制备的硅棒提拉装置,对于联动套筒、牵引构件、定位块以及调节套筒的设置,使得该提拉装置在沿着平面移动该硅棒时,在联动套筒上第一限位槽以及牵引构件上限位滑杆的作用下使其之间在移动的瞬间或者转弯的过程中发生相应的弯折动作,进而有效缓解该硅棒在平面移动时因惯性对其所造成的冲击影响。
公开/授权文献
- CN114921845A 一种用于动态环境监控芯片制备的硅棒提拉装置 公开/授权日:2022-08-19