一种多种气体同时探测的光声传感器及检测系统
摘要:
本发明公开了一种多种气体同时探测的光声传感器及检测系统,涉及光纤传感和痕量气体检测领域,该光声传感器包括一根探测光纤、三根激励光纤、圆柱形金属壳体、设置在圆柱形金属壳体内部的非共振腔体及与圆柱形金属壳体的顶部连接的悬臂梁式麦克风;位于圆柱形金属壳体底部的圆心处的通孔放置有探测光纤,按照环形阵列形式布置在圆柱形金属壳体底部的每一通孔均放置有激励光纤;悬臂梁式麦克风上开设有一个长方体凹坑;长方体凹坑的底面的三条边均为缝隙,以形成悬臂梁,且长方体凹坑的底面朝向非共振腔体;圆柱形金属壳体和非共振腔体的尺寸为毫米级别。本发明能实现多种气体同时高灵敏度检测,且具有小型化。
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