发明公开
摘要:
本发明公开了一种基于模态局部化效应的双路信号传感器,属于MEMS传感器领域。该传感器包括谐振器一101、谐振器二102、谐振器三103、三个谐振器呈正三角形三个顶点处排布,谐振器一101通过耦合梁一104与谐振器二102连接,谐振器二102通过耦合梁二105与谐振器三103连接,谐振器三103通过耦合梁三106与谐振器一101连接,所述三个耦合梁一104、耦合梁二105以及耦合梁三106完全相同,从而实现三个谐振器相互耦合。本发明的有益效果是:提供一种基于模态局部化效应的双路信号传感器。发明设计了一个弱耦合谐振系统,该系统包括三个相互耦合的谐振器,并采用固定交流驱动频率,进行幅值检测的驱动检测方案。相比于传统的模态局部化传感器,本发明能实现双路信号的同时检测。