本发明公开了一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，包括以下步骤，一次水洗、二次水洗、一次酸洗、二次酸洗、金属离子分析、三次水洗、四次水洗以及pH值分析，最后在分析后合格的包装容器充入保护气体后，对包装容器进行包装；本发明通过一次水洗和二次水洗，对包装容器表面灰尘以及微小金属颗粒等杂质进行清理；通过一次酸洗和二次酸洗，对包装容器表面未除去的金属氧化物和细小金属颗粒进行清理，防止包装容器表面还残留有会与氢氟酸反应的物质，不会影响超高纯氢氟酸的浓度；再通过三次水洗和四次水洗对包装容器表面残留的氢氟酸进行清洗，从源头上减轻了超高纯氢氟酸被二次污染的几率，保证了包装容器清洗等级和超高纯氢氟酸的质量。