申请公开一种用于气相生长装置的晶圆承载装置及控制方法。该晶圆承载装置包括：壳体，其内有支撑筒，支撑筒内设有复数沿其轴向延伸的第二通道，支撑筒的一侧有依次层叠的抽气环及托盘，托盘内设有延其轴向的第一通道，支撑筒另一侧有旋转载盘，其内有沿径向延伸的第三通道，旋转载盘连接驱动部的转轴，转轴上设有复数沿其轴向延伸的第四通道，驱动部的远离壳侧配置有密封盖，该密封盖上设有第一穿孔，该第一穿孔经管路连接至抽真空装置。基于抽真空装置动作该第一通道、第二通道、第三通道、第四通道及第一穿孔连通，其组合以构成负压通道。实现晶圆可靠的放置于托盘上并以一定的速度旋转，避免飞盘的发生，同时避免晶圆的边缘翘起。