一种有机胶膜研磨设备
摘要:
本发明公开一种有机胶膜研磨设备,包括:研磨机构,用来对硅片进行磨碎处理,研磨机构包括用来磨碎硅片的磨盘单元和过滤组件,过滤组件设置于磨盘单元下方;破碎机构,用来对硅片进行预破碎处理,破碎机构包括能够破碎硅片的对铰单元和固定安装对铰单元的破碎箱;研磨筒,用于固定研磨机构和破碎机构,磨盘单元和过滤组件设置于研磨筒内腔中部,破碎箱底面与研磨筒顶面固定连接,破碎箱底面与磨盘单元相连通;喷淋组件,用于对研磨机构和破碎机构进行冷却,喷淋组件一端与研磨筒底端相连通,喷淋组件另一端设置于对铰单元的上方。
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