一种具有应力释放的双质量MEMS陀螺敏感结构
摘要:
本发明涉及一种具有应力释放的双质量MEMS陀螺敏感结构,采用四周支撑结构支撑整个可动结构,并在四周支撑结构上下两侧中心和左右两侧中心放置应力释放梁和应力释放梁固定锚区。应力释放梁弯曲刚度远小于四周支撑结构的框架刚度,可显著降低四周支撑结构内的中心敏感结构上在环境温度变化过程中所受的热应力,提高传感器输出特性的温度稳定性。四周支撑框架可是两侧质量块运动过程中的产生弹性力相互抵消,从而极大幅度的降低了整个可动结构的支撑锚区所受弹性力,显著降低了锚区疲劳损耗,提高了传感器的可靠性。
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