- 专利标题: 一种基于导电丝电极的相变存储器及其制备方法
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申请号: CN202210706263.9申请日: 2022-06-21
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公开(公告)号: CN115084368B公开(公告)日: 2024-07-16
- 发明人: 徐明 , 王欢 , 缪向水
- 申请人: 华中科技大学 , 湖北江城实验室
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号;
- 专利权人: 华中科技大学,湖北江城实验室
- 当前专利权人: 华中科技大学,湖北江城实验室
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号;
- 代理机构: 武汉华之喻知识产权代理有限公司
- 代理商 邓彦彦; 廖盈春
- 主分类号: H10B63/10
- IPC分类号: H10B63/10 ; H10N70/20
摘要:
本发明提供一种基于导电丝电极的相变存储器及其制备方法,通过在底电极层施加正电压脉冲,顶电极层接地,使相变材料在晶态与非晶态之间实现相变过程,进而对器件的阻态进行调节。在施加脉冲后,活性电极中金属阳离子会被氧化,在介质层半导体材料中的缺陷中快速迁移,并在介质层中形成稳定的导电丝。由于介质层导电性能差,形成的导电丝作为底电极与相变材料层的接触点,使得相变材料层在相变过程中的升温区域减小,器件的有效相变面积减小,因此使其工作电流减小。该结构可以有效降低相变存储器的功耗,提高了相变存储器的性能,具有广阔的应用前景。
公开/授权文献
- CN115084368A 一种基于导电丝电极的相变存储器及其制备方法 公开/授权日:2022-09-20