一种基于导电丝电极的相变存储器及其制备方法
摘要:
本发明提供一种基于导电丝电极的相变存储器及其制备方法,通过在底电极层施加正电压脉冲,顶电极层接地,使相变材料在晶态与非晶态之间实现相变过程,进而对器件的阻态进行调节。在施加脉冲后,活性电极中金属阳离子会被氧化,在介质层半导体材料中的缺陷中快速迁移,并在介质层中形成稳定的导电丝。由于介质层导电性能差,形成的导电丝作为底电极与相变材料层的接触点,使得相变材料层在相变过程中的升温区域减小,器件的有效相变面积减小,因此使其工作电流减小。该结构可以有效降低相变存储器的功耗,提高了相变存储器的性能,具有广阔的应用前景。
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