一种氮化镓异质结双极型光子晶体管及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种氮化镓异质结双极型光子晶体管及其制备方法,包括:衬底;以及依次设置于衬底上的成核层、缓冲层;集电区,设置于缓冲层上;集电极,设置于集电区上的一端;下多量子阱层,设置于集电区上的另一端;集电极与下多量子阱层之间存在间隔;基区,设置于下多量子阱层上;基极,设置于基区上的一端;其中,基极和集电极设置于同一侧;上多量子阱层,设置于基区上的另一端;基极与上多量子阱层之间存在间隔;发射区,设置于上多量子阱层上;发射极,设置于发射区上的一端;发射极与集电极设置于不同侧;其中,集电区、下多量子阱层、基区、上多量子阱层和发射区的材料均为三族氮化物。本发明同时具有晶体管和LED的功能。
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