发明公开
CN115125480A 镀膜以及镀膜的制备方法
审中-实审
- 专利标题: 镀膜以及镀膜的制备方法
-
申请号: CN202210604876.1申请日: 2022-05-30
-
公开(公告)号: CN115125480A公开(公告)日: 2022-09-30
- 发明人: 任广辉 , 贺建强 , 辛国亮 , 班东 , 王红升 , 苗凯菲 , 刘其龙
- 申请人: 歌尔股份有限公司
- 申请人地址: 山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号
- 专利权人: 歌尔股份有限公司
- 当前专利权人: 歌尔股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号
- 代理机构: 北京博雅睿泉专利代理事务所
- 代理商 杨璐
- 主分类号: C23C14/02
- IPC分类号: C23C14/02 ; C23C14/06 ; C23C14/16 ; C23C14/34 ; G04B37/22
摘要:
本申请实施例提供了一种镀膜以及镀膜的制备方法;制备方法包括:开启弧靶进行溅射,弧靶溅射材料为Cr,对基体施加第一负偏压,将Cr沉积到基体的表面形成底层;通入氮气和乙炔,以Cr靶和Si靶为靶材,在底层上共溅射,以在底层上沉积形成CrSi复合膜层,CrSi复合膜层为中间层;继续通入氮气和乙炔,以Cr靶和Si靶为靶材,在CrSi复合膜层上共溅射,通过控制Cr靶和Si靶的电流逐渐减小来调整Cr和Si的比例,在CrSi复合膜层上沉积形成渐变层;及继续通入氮气和乙炔,以Cr靶和Si靶为靶材,将Cr靶和Si靶的电流调整为<10A,在渐变层上沉积形成颜色层,颜色层包括CrSiCN成分,最终在基体上形成镀膜。
IPC分类: