镀膜以及镀膜的制备方法
摘要:
本申请实施例提供了一种镀膜以及镀膜的制备方法;制备方法包括:开启弧靶进行溅射,弧靶溅射材料为Cr,对基体施加第一负偏压,将Cr沉积到基体的表面形成底层;通入氮气和乙炔,以Cr靶和Si靶为靶材,在底层上共溅射,以在底层上沉积形成CrSi复合膜层,CrSi复合膜层为中间层;继续通入氮气和乙炔,以Cr靶和Si靶为靶材,在CrSi复合膜层上共溅射,通过控制Cr靶和Si靶的电流逐渐减小来调整Cr和Si的比例,在CrSi复合膜层上沉积形成渐变层;及继续通入氮气和乙炔,以Cr靶和Si靶为靶材,将Cr靶和Si靶的电流调整为<10A,在渐变层上沉积形成颜色层,颜色层包括CrSiCN成分,最终在基体上形成镀膜。
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