本发明涉及压力传感器技术领域，公开一种耐高温压力传感器及其加工方法，加工方法包括：在SOI衬底上形成压敏电阻和电连接层；在SOI衬底的氧化层、压敏电阻及电连接层上形成绝缘层；在绝缘层上形成硅键合层；在绝缘层上形成金属连接件；在SOI衬底的第二表面上形成压力腔，SOI衬底正对压力腔的区域形成感压膜片；在第二表面上阳极键合第一玻璃层，第一玻璃层上设有压力孔；在硅键合层上阳极键合第二玻璃层，第二玻璃层与硅键合层及绝缘层形成真空腔。本发明公开的加工方法工艺简单，加工而成的压力传感器的结构强度高，适用于恶劣环境，金属连接件使得加工而成的压力传感器适宜安装在其他结构上。