本发明涉及纳米级加工装置技术领域，尤其涉及一种纳米级加工装置用换刀机构，其包括换刀架、设置于所述换刀架的多位星型换刀盘和用于驱动多位星型换刀盘进行换刀的换刀驱动组件；多位星型换刀盘设置有取刀器和中转器，换刀驱动组件用于驱动取刀器将储刀机构存储的刀具移动至用刀机构，并驱动中转器将用刀机构上的刀具取下，并将取刀器上的刀具安装至用刀机构上。换刀机构通过在多位星型换刀盘上设置取刀器和中转器，取刀器用于提取待更换的刀具，中转器用于转移从用刀机构上更换下来的刀具。相比于一般的人工采用特定的工具将工作刀取下，再换上备用刀具，本换刀机构的换刀效率更高，且自动化程度更高，满足现有3C行业复杂的加工工艺要求。