本发明涉及一种电容器介质薄片上残余电荷的测量方法、测量装置，包括：测量电容器介质薄片下方r距离的电位分布；将被测电容器的介质薄片表面均分为n等份，对于介质薄膜表面的n个单元，第j个单元下方的电位可用公式计算，式中，rij为介质薄片上第i个单元到第j个电位测量单元中心点的距离；将所有方程列写为矩阵形式，通过介质薄片下方的电位反演计算得到介质薄片表面的电荷密度。本技术方案能保证滤波电容器薄膜上残余电荷保持原来状态，能准确测量滤波电容器薄膜上的残余电荷分布。