发明公开
- 专利标题： 基于温差发电器件的真空度检测装置
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申请号： CN202210567533.2申请日： 2022-05-23
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公开(公告)号： CN115183934A公开(公告)日： 2022-10-14
- 发明人: 何海龙 , 荣命哲 , 纽春萍 , 吴翊 , 任鸿睿 , 陈晓龙
- 申请人： 西安交通大学
- 申请人地址： 陕西省西安市咸宁西路28号
- 专利权人： 西安交通大学
- 当前专利权人： 西安交通大学
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市咸宁西路28号
- 代理机构： 北京中济纬天专利代理有限公司
- 代理商 覃婧婵
- 主分类号： G01L21/00
- IPC分类号： G01L21/00 ; G01L21/12
摘要：
本发明公开了一种基于温差发电器件的真空度测量装置，基于温差发电器件的真空度测量装置中，冷却部分支承于所述真空腔体内，温差发电器件一端层叠于所述冷却部分上，所述温差发电器件包括多对热电臂，当温差发电器件所处位置的真空度改变，引起温差发电器件热阻改变以生成反映真空度的检测数据，热阻块层叠于所述温差发电器件的另一端，热源部分层叠且加热所述热阻块，压力气缸施加压力于所述热源部分。