一种Cu@In核壳结构的微米颗粒互连材料的制备方法
摘要:
本发明公开了一种Cu@In核壳结构的微米颗粒互连材料的制备方法,所述方法包括如下步骤:步骤一、在室温下配制含有络合剂、铟盐和抗氧化剂的碱性镀液,在碱性镀液中,络合剂与铟盐反应生成络合In3+,以防止In3+的直接沉淀;步骤二、硼氢化钠作为还原剂将络合In3+还原成In单质,在微米Cu球上进行化学镀In;步骤三、将步骤二的废液倒掉,用无水乙醇和蒸馏水交替超声清洗镀粉,最后一遍为无水乙醇清洗,过后风冷干燥、过筛,得到Cu@In核壳结构金属粉。该方法制备得到的Cu@In核壳结构的微米颗粒互连材料提高了微米铜的抗氧化性和稳定性,在保证互连材料导电性的前提下大大降低了互连温度和互连条件。
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