VB法制备超高纯多晶锗的方法
摘要:
VB法制备超高纯多晶锗的方法,属于超高纯锗多晶制备领域。本发明的方法,包括以下步骤:采用VB法定向凝固结晶,将6‑8N纯度的锗多晶原料放入特殊处理的高纯石英坩埚内,再将其装入高纯石英管内通入高纯氢气,对6‑8N纯度的多晶锗在超高纯氢气气氛中进行高频感应加热,使其全部熔化为液体,保持高频感应加热持续不变,缓慢下降载有锗液体的高纯石英坩埚,使液体自下而上的缓慢凝固,使其中的微量杂质在固液转换的界面中,由于分凝系数不同,不断富集至晶体下部,从而把6‑8N纯度的多晶锗提纯至>12N纯度的超高纯多晶锗。
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