MEMS压力传感器的封装结构及方法
摘要:
本申请公开了一种MEMS压力传感器的封装结构及方法,所述MEMS压力传感器的封装结构包括:底座,与膜片形成密封腔体,所述密封腔体内部设有传感介质及压力传感芯片,当外界压力增大时,所述膜片向所述密封腔体的内侧弯曲,以使所述密封腔体收缩并通过传感介质向压力传感芯片传递压力;所述底座包括底板,所述底板包括第一结构层、第二结构层以及位于第一结构层和第二结构层之间的N型半导体和P型半导体,所述N型半导体与所述P型半导体相串联后与直流电源连接。本申请的封装结构可以实现对密封腔体内部温度的控制,能够避免环境温度变化导致传感器芯片性能产生漂移的问题。
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