本发明涉及半导体检测技术领域，提供了一种光照调节装置及检测系统，光照调节装置包括多组感应组、位置传感器、致动器、光强检测器和调节处理器；感应组包括横杆、立杆和感应形变端；光强检测器用于检测感应形变端辐射的光强；根据感应形变端的形状变化和感应组的位置变化驱动感应组的位置；检测系统包括多波长激光模块、测量光照模块、涡旋参考模块、对焦光学模块、图像采集模块、数据处理模块、外部输出模块和光强调节模块；该光照调节装置结构简单，每组感应组独立控制，通过位置调节实现缝隙透光调整光照强度的均匀性，提高了检测系统的成像或图像采集的质量，适应于多规格晶圆或光罩的检测，便于在半导体如晶圆或光罩的检测领域推广应用。