一种DMD无掩膜光刻机的投影物镜镜头
摘要:
本发明公开了一种DMD无掩膜光刻机的投影物镜镜头,从入射方向开始依次设置:具有正光焦度第一透镜组;光阑;具有负光焦度第二透镜组;具有正光焦度第三透镜组;其中:第一透镜组接收从DMD出射的光线,包含3个光焦度依次为负、正、负的透镜;第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线,并将其出射至第三透镜组,第二透镜组包含四个光焦度依次为正、负、正、负的透镜;第三透镜组收集从第二透镜组出射的光线,并将其聚焦于基底,第三透镜组包含4个光焦度依次为正、正、正、负的透镜;所述透镜均处于同一光轴。本发明能校正多种像差,特别是畸变、场曲、像散、轴向色差、倍率色差。
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