发明授权
- 专利标题: 一种DMD无掩膜光刻机的投影物镜镜头
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申请号: CN202211157008.X申请日: 2022-09-22
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公开(公告)号: CN115248538B公开(公告)日: 2022-12-27
- 发明人: 匡翠方 , 张凌民 , 魏震 , 李海峰 , 朱大钊 , 丁晨良 , 徐良
- 申请人: 之江实验室 , 浙江大学
- 申请人地址: 浙江省杭州市余杭区之江实验室南湖总部;
- 专利权人: 之江实验室,浙江大学
- 当前专利权人: 之江实验室,浙江大学
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市余杭区之江实验室南湖总部;
- 代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司
- 代理商 邱启旺
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20 ; G02B13/00 ; G02B27/00
摘要:
本发明公开了一种DMD无掩膜光刻机的投影物镜镜头,从入射方向开始依次设置:具有正光焦度第一透镜组;光阑;具有负光焦度第二透镜组;具有正光焦度第三透镜组;其中:第一透镜组接收从DMD出射的光线,包含3个光焦度依次为负、正、负的透镜;第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线,并将其出射至第三透镜组,第二透镜组包含四个光焦度依次为正、负、正、负的透镜;第三透镜组收集从第二透镜组出射的光线,并将其聚焦于基底,第三透镜组包含4个光焦度依次为正、正、正、负的透镜;所述透镜均处于同一光轴。本发明能校正多种像差,特别是畸变、场曲、像散、轴向色差、倍率色差。
公开/授权文献
- CN115248538A 一种DMD无掩膜光刻机的投影物镜镜头 公开/授权日:2022-10-28
IPC分类: