本发明公开了一种液态前驱体供液设备，包括原液容器、缓冲容器、出口阀组和第一吹扫管，原液容器连接有第一进气管，第一进气管连接有第一控制阀，原液容器连接有原液出液管，原液出液管连接有第二进气管，第二进气管与第一进气管连通，第二进气管设置有第二控制阀，第一控制阀位于第二进气管和原液缓冲容器之间，缓冲容器连接有缓冲出液管；第一吹扫管设置有吹扫控制阀，原液出液管连接有连接管，连接管与第一吹扫管连通，连接管与进气管连通，进气管连通有第一排气管，缓冲容器连接有第二排气管。本发明提供的一种液态前驱体供液设备方便更换原液容器，同时使得缓冲容器保持稳定的压力和流量进行供液。