非晶态钎料箔带的加工工艺及薄膜传感器
摘要:
本发明属于薄膜传感器技术领域,尤其涉及一种用于制作薄膜传感器电极层的非晶态钎料箔带的加工工艺、非晶态钎料箔带、薄膜传感器的加工方法及薄膜传感器,所述加工工艺包括如下步骤:步骤11:将包括A l、Mg、S i、T i的钎料合金进行熔炼,得到母合金锭;步骤12:将母合金锭放入带喷嘴的恒压喷注炉内,对恒压喷注炉加热使母合金锭融化,形成液态合金钎料;步骤13:在惰性气体环境下控制恒压喷注炉内的液态合金钎料由喷嘴喷注到匀速转动的水冷铜辊上,得到非晶态钎料箔带。本发明解决了现有薄膜传感器生产效率低,工艺成本高的技术问题。
公开/授权文献
0/0