Invention Grant
- Patent Title: 一种用于光学信息处理系统中的磁光结构及其制备方法、制备设备
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Application No.: CN202210897961.1Application Date: 2022-07-28
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Publication No.: CN115261795BPublication Date: 2023-08-15
- Inventor: 林和 , 王尧林 , 洪学天 , 赵大国 , 陈宏 , 牛崇实
- Applicant: 弘大芯源(深圳)半导体有限公司 , 晋芯电子制造(山西)有限公司 , 晋芯先进技术研究院(山西)有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市宝安区航城街道三围社区航城大道159号航城创新创业园A3栋201; ;
- Assignee: 弘大芯源(深圳)半导体有限公司,晋芯电子制造(山西)有限公司,晋芯先进技术研究院(山西)有限公司
- Current Assignee: 弘大芯源(深圳)半导体有限公司,晋芯电子制造(山西)有限公司,晋芯先进技术研究院(山西)有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市宝安区航城街道三围社区航城大道159号航城创新创业园A3栋201; ;
- Agency: 北京冠和权律师事务所
- Agent 张树朋
- Main IPC: C23C14/18
- IPC: C23C14/18 ; C23C14/35 ; C23C14/54
Abstract:
本发明公开了一种用于光学信息处理系统中的磁光结构及其制备方法、制备设备。该磁光结构包括具有石榴石结构的介电材料制成的衬底;所述衬底上形成的磁光薄膜,所述磁光薄膜的磁化矢量位于所述磁光薄膜的平面中。本发明磁光结构的分辨率和灵敏度可以通过改变铁氧体‑石榴石衬底的晶轴取向进行调节,也可以通过含铋的镓铁氧体石榴石薄膜中的铋离子和镓离子的浓度来改变,本发明显著提高磁光结构的分辨率和灵敏度,灵敏度可提高2倍以上。
Public/Granted literature
- CN115261795A 一种用于光学信息处理系统中的磁光结构及其制备方法、制备设备 Public/Granted day:2022-11-01
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