发明授权
- 专利标题： 喷头
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申请号： CN202210215541.0申请日： 2022-03-07
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公开(公告)号： CN115283152B公开(公告)日： 2023-03-24
- 发明人: 金龙洙 , 金荣范 , 郑熙锡
- 申请人： 吉佳蓝科技股份有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道华城市
- 专利权人： 吉佳蓝科技股份有限公司
- 当前专利权人： 吉佳蓝科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道华城市
- 代理机构： 北京钲霖知识产权代理有限公司
- 代理商 李英艳; 玉昌峰
- 优先权： 10-2021-0057508 20210503 KR
- 主分类号： B05B1/00
- IPC分类号： B05B1/00
摘要：
本发明的一实施例公开一种喷头，包括：气体分配板，具有多个气孔以使一个以上气体通过；第一支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的第一面；以及第二支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的面中的与所述第一面相反的相反面即第二面，并且形成为比所述第一支承部件小。
公开/授权文献
- CN115283152A 喷头 公开/授权日：2022-11-04
