本发明公开一种热丝化学气相沉积设备、硅基薄膜沉积方法及太阳能电池，涉及太阳能电池加工技术领域。以解决PECVD方法存在的能耗高、工艺气体利用率低以及成膜均匀性差的问题，同时还解决卧式HWCVD设备存在的结构复杂以及热丝下垂的问题。上述热丝化学气相沉积设备包括供气装置、真空腔、布气板、绝缘承托件、热丝、接线柱、电源和载板。热丝具有相对的第一端和第二端，第一端和第二端均与水平设置的接线柱电连接。每一接线柱与热丝连接的一端均能够向热丝提供弹性拉力，以使热丝受热形变时拉紧热丝，此时，热丝始终处于水平状态。