一种氟气及氟化物分析系统及方法
Abstract:
本发明提供一种氟气及氟化物分析系统,包括:取样模块,所述取样模块用于提取待检测的样品;六通阀,所述六通阀的输出端通过混合三通连接有反应器,所述取样模块的中提取的样品通过六通阀输送至反应器,所述反应器的输出端连接有四通阀;所述四通阀的输出端连接有色谱柱一和色谱柱二,所述色谱柱一的输出端连接有分子筛柱,所述分子筛柱与色谱柱二的输出端连接有TCD检测模块。本发明提供的氟气及氟化物分析系统及方法,使用H2作为氟气的反应器,F2与氢气反应剧烈,生成HF,通过检测气路中氢气的减少量,即可推算得到F2的浓度,同时由于去除了F2,不会对后续的分析产生O2、CF4、C2F6等新的杂质。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0