本公开提供一种全固态MEMS电场传感器、制备方法及工作方法，所述全固态MEMS电场传感器可实现对静态电场/交流电场的检测，对静态电场进行测量时可自动识别电场方向。所述全固态MEMS电场传感器包括一个屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等组件。所述全固态MEMS电场传感器的屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等部件采用包括集成电路工艺在内的MEMS微加工工艺制造。本公开的电场传感器不含有可动部件、不需要激励信号驱动，具有功耗低、结构简单可靠、体积小、功耗低、温度特性好、可批量加工等特点。