串联式多功能钼舟组件及基于该组件的蒸镀方法
摘要:
本发明涉及到一种串联式多功能钼舟组件及基于该组件的蒸镀方法,通过将多个单头钼舟串联在一起以形成可容纳多个坩埚的钼舟组件,使钼舟组件能够同时承载多种药液,且多种药液可分别设置在不同的坩埚中,避免相互反应,使基片在多层镀覆过程中不需要开炉更换药液,避免中间膜层受空气污染,确保各膜层的均匀度以及各膜层之间的附着力,提高基片真空镀膜的效果。同时,本发明通过采用不同阻值的单头钼舟进行串联,以实现不同钼舟在相同电流下产生不同的温度,从而可通过钼舟组件两端电压来控制各单头钼舟的工作温度,进而控制各药液的蒸发时序,根据膜层设计,对基片依次进行各膜层的镀覆,实现一次装机完成多层膜层镀覆的技术效果。
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