发明公开
CN115365023A 一种表面处理显影自动涂覆系统
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种表面处理显影自动涂覆系统
-
申请号: CN202210977931.1申请日: 2022-08-15
-
公开(公告)号: CN115365023A公开(公告)日: 2022-11-22
- 发明人: 邓金虎
- 申请人: 苏州普瑞得电子有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市吴中经济开发区河东工业园塘东路138号
- 专利权人: 苏州普瑞得电子有限公司
- 当前专利权人: 苏州普瑞得电子有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市吴中经济开发区河东工业园塘东路138号
- 代理机构: 苏州瑞光知识产权代理事务所
- 代理商 罗磊
- 主分类号: B05B1/30
- IPC分类号: B05B1/30 ; B05B1/28 ; B05B9/04 ; B05B12/02 ; G03F7/30
摘要:
本发明公开了一种表面处理显影自动涂覆系统,属于涂覆技术领域,包括底座,所述底座的顶部固定连接有箱体。本发明中,进入到壳体内部的显影液会在重力作用下使第二挡板对第一收缩气囊进行拉伸,第一收缩气囊将第二收缩气囊内部的气体抽取,使滑动块和第一挡板进行移动,显影液即可通过涂覆喷嘴进行喷出,对晶圆的表面进行涂覆,在涂覆结束后,弧形弹性气囊和第一收缩气囊作用力使第二挡板进行复位,此时第二挡板将第一收缩气囊内部的气体输送至第二收缩气囊的内部,使其带动滑动块和第一挡板进行移动,对安装套的底部进行阻挡,进而防止涂覆喷嘴容易存在残留液滴,随着重力作用会滴落在晶圆的表面上,进而对晶圆表面的图案形成造成影响。