发明公开
- 专利标题: 模具的制造方法和悬空成像结构的制造方法
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申请号: CN202211153483.X申请日: 2022-09-21
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公开(公告)号: CN115390370A公开(公告)日: 2022-11-25
- 发明人: 刘金豆 , 李文波 , 朱昕彤 , 张寒冰 , 杜志宏
- 申请人: 北京京东方技术开发有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区地泽路9号1幢407室;
- 专利权人: 北京京东方技术开发有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 北京京东方技术开发有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区地泽路9号1幢407室;
- 代理机构: 北京柏杉松知识产权代理事务所
- 代理商 项京; 马敬
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20 ; G02B30/56
摘要:
本申请实施例提供了一种模具的制造方法和悬空成像结构的制造方法。其中,模具的制造方法的步骤包括:提供第一衬底,在第一衬底的一侧形成光刻胶;对光刻胶远离第一衬底的一侧进行光刻,以使得一部分光刻胶变性,形成变性光刻胶;去除所述变性光刻胶,以在光刻胶远离第一衬底的一侧形成多个槽结构;在槽结构内填充金属,并使得金属覆盖光刻胶远离第一衬底的一侧,以形成模具。通过本实施例中的制造方法制造的模具,其具有较大的深宽比,可以用于制作悬空成像结构,也可以适当调整,作为悬空成像结构的一部分。
IPC分类: