本发明涉及一种激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工装置及方法，装置包括支撑壳体，所述支撑壳体内固定设置有激光器，且激光器的下侧设有光路系统，所述光路系统的下端抵触设置有透光模压板，所述透光模压板设置在安装孔内，且安装孔开设在上基座上，所述上基座固定连接在支撑壳体内，且上基座上设置有固定机构，用于将透光模压板可拆装设置在安装孔内；透光模压板相对上基座可拆装设置，这样在实际的工作过程中，在上基座和透光模压板单一发生损坏时，只需要更换损坏件即可，从而达到节能环保的作用；可拆装设置可以更换不同尺寸的透光模压板，从而使得该设备适用于适用于多规格材料表面阵列微纳结构的加工，这样可以大大降低生产投入。