本发明属于金相分析测试技术领域，尤其涉及一种高纯钇靶材的金相组织表征方法。本发明通过特定比例的方法对钇靶材进行处理，突破了金相样品制备需经过“取样→镶嵌→磨制→抛光→腐蚀”五步的传统工艺，镶嵌、磨制后直接腐蚀，即可制得衬度良好、晶界轮廓明显、晶粒形貌清晰，便于显微镜下观察分析的钇靶材金相试样，所述工艺流程简便高效，并有效填补了高纯钇靶材的金相制样技术空白，所得到的金相组织，可为优化钇靶材的锻压、轧制变形等生产工艺奠定基础。