本发明公开了基于TCAD的UHVDC换流阀晶闸管建模方法及装置，所述方法包括：在TCAD集成的SDE工具中对晶闸管进行几何结构建模；在SDE工具中设置晶闸管模型的电极接触面及接触材质；在SDE中对晶闸管模型先施加低浓度N型掺杂，再施加高斯掺杂叠加；在SDE中对模型进行网格划分；在Sdevice中声明物理参数模型描述物理过程；在Sdevice中使用准静态扫描仿真验证模型的静态阻断特性；在Sdevice中搭建脉冲测试电路，使用动态仿真验证模型在门级电流脉冲下动态通断特性；本发明的优点在于：提供基于TCAD的UHVDC换流阀晶闸管建模方法，实现对换流站内的晶闸管监测。