发明公开
- 专利标题: 多超导材料层的制备方法及量子器件
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申请号: CN202211215561.4申请日: 2022-09-30
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公开(公告)号: CN115458674A公开(公告)日: 2022-12-09
- 发明人: 高然 , 邓纯青
- 申请人: 阿里巴巴达摩院(杭州)科技有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市余杭区五常街道文一西路969号3幢5层516室
- 专利权人: 阿里巴巴达摩院(杭州)科技有限公司
- 当前专利权人: 阿里巴巴达摩院(杭州)科技有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市余杭区五常街道文一西路969号3幢5层516室
- 代理机构: 北京博浩百睿知识产权代理有限责任公司
- 代理商 曾红芳
- 主分类号: H01L39/24
- IPC分类号: H01L39/24 ; H01L39/12 ; H01L39/22 ; G06N10/40
摘要:
本发明公开了一种多超导材料层的制备方法及量子器件。其中,该方法包括:在衬底上沉积由第一目标区域范围的第一硬掩膜覆盖第一目标区域范围的第一超导材料的第一超导材料层;在沉积有第一超导材料层的衬底上沉积第二超导材料;将第二硬掩膜覆盖在第二超导材料上;对第二硬掩膜和第二超导材料进行刻蚀处理,得到由第二目标区域范围的第二硬掩膜覆盖第二目标区域范围的第二超导材料的第二超导材料层。本发明解决了难以在同一衬底上集成多种超导材料的技术问题。
IPC分类: