一种基于梯度二氧化硅光波导的模斑转换器
Abstract:
一种基于梯度二氧化硅光波导的模斑转换器,属于集成光电子学技术领域。依次由基底层、下包层、芯层波导和上包层组成,芯层波导被上包层所包覆;芯层波导由输入波导Core1、锥形过渡区波导Core2和输出波导Core3构成,输入波导Core1和输出波导Core3为直波导结构;输入波导Core1和锥形过渡区波导Core2的高度相同,且大于输出波导Core3的高度;锥形过渡区波导Core2的宽度由输入波导Core1的宽度逐渐变窄至输出波导Core3的宽度。在不同的光纤‑波导耦合结构中,本发明制备的模斑转换器具有耦合效率高、结构紧凑、易于封装、工艺复杂度低和波长变化不敏感的特点,具有广泛的应用前景。
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